クリーンルームの規格について

クリーンルームは限られた空間の浮遊微粒子や浮遊微生物が指定された清浄度以下に管理されている部屋やブースなどを指しており、その清浄度は規格によって分類されています。
このような清浄度の分類では、JIS方式、FED-STD-209D方式、ISO方式など複数の規格が存在しています。
日本の半導体工場においては主に粉塵などの微粒子を対象とし、FED-STD-209D方式従ったクラス100、クラス1000などの規格表記が一般的です。規格内の数字が清浄度を表し、例えば、クラス100では1フィート立方中に0.5ミクロン以上の微粒子が100個以下であることを示し、同様に1000個以下であればクラス1000となります。
数字が小さくなればなるほどより清浄度の高い空間となります。クリーンルームの清浄度を上げる手段としては、フィルタによる空気清浄、ダウンフローによる気流管理、定期的な室内清掃などが挙げられます。
特に、フィルタに関しては用途ごとに粗い粒子用のフィルタから微粒子用のHEPAフィルタなど用途に応じた選択が求められます。

徹底的に管理されているクリーンルーム

わずかなホコリも許されない半導体を作る企業や、食品関係の工場には、クリーンルームがあります。
クリーンルームは、一般的に、室内の汚染物質の量が一定基準以下に制限され、管理されている部屋です。日本では、清浄度クラスの表示が統一されていないので、どの規格の表示なのかをチェックすることが大切です。
日本で使われているクリーンルームには、工場用とバイオ用があります。工業用は、半導体や液晶パネルなどの製造工場で使われています。 徹底的に管理 バイオ用は、バイオテクノロジーや医療分野、食品加工の工場などで使われています。
クリーンルームは、湿度や温度も徹底して管理されています。部屋には、クリーン服を着ないと入ることができません。人にはホコリやごみが付いていることが多いので、クリーン服を着なくてはならないのです。
部屋の出入り口にはエアーシャワーがあります。ゴミなどによる不良を防ぐためには、徹底して管理することが大事なのです。

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2022/4/21 更新

『クリーンルーム 管理』
最新ツイート

@tkmocchin7041

@kerotan_nyan もう家をクリーンルームかなんかにしてもろて紫外線も浴びる事なく室温湿度管理された滅菌空間に閉じ込めておくしかない。 頭の中お花畑になれる音楽とか流し続けてw

4時間前 - 2022年08月19日


@Johoshushupopo

FOUPを使ったミニエン技術が進んでいてクリーンルームは温湿度管理がメインだのに、パーティクルレベルが最高とか意味がわからないポヨ ISOではなくFED209Dのクラス1とか言ってそうポヨ https://t.co/wzXMtfIsro

19時間前 - 2022年08月19日


@rei_software

これはここ https://t.co/44yf3yIXh6 世界最高水準は当然パーティクルレベル。ケミカル汚染や温湿度管理なら世界最高水準の「クリーンルーム」とは言わない。 またウエハは外に出した時点で「ただの板」になる。撮影… https://t.co/G1OAV6lZLW

22時間前 - 2022年08月18日