クリーンルームの規格と管理

クリーンルームの規格について

クリーンルームは限られた空間の浮遊微粒子や浮遊微生物が指定された清浄度以下に管理されている部屋やブースなどを指しており、その清浄度は規格によって分類されています。
このような清浄度の分類では、ＪＩＳ方式、ＦＥＤ－ＳＴＤ－２０９Ｄ方式、ＩＳＯ方式など複数の規格が存在しています。
日本の半導体工場においては主に粉塵などの微粒子を対象とし、ＦＥＤ－ＳＴＤ－２０９Ｄ方式従ったクラス１００、クラス１０００などの規格表記が一般的です。規格内の数字が清浄度を表し、例えば、クラス１００では１フィート立方中に０．５ミクロン以上の微粒子が１００個以下であることを示し、同様に１０００個以下であればクラス１０００となります。
数字が小さくなればなるほどより清浄度の高い空間となります。クリーンルームの清浄度を上げる手段としては、フィルタによる空気清浄、ダウンフローによる気流管理、定期的な室内清掃などが挙げられます。
特に、フィルタに関しては用途ごとに粗い粒子用のフィルタから微粒子用のＨＥＰＡフィルタなど用途に応じた選択が求められます。

徹底的に管理されているクリーンルーム

わずかなホコリも許されない半導体を作る企業や、食品関係の工場には、クリーンルームがあります。
クリーンルームは、一般的に、室内の汚染物質の量が一定基準以下に制限され、管理されている部屋です。日本では、清浄度クラスの表示が統一されていないので、どの規格の表示なのかをチェックすることが大切です。
日本で使われているクリーンルームには、工場用とバイオ用があります。工業用は、半導体や液晶パネルなどの製造工場で使われています。 バイオ用は、バイオテクノロジーや医療分野、食品加工の工場などで使われています。
クリーンルームは、湿度や温度も徹底して管理されています。部屋には、クリーン服を着ないと入ることができません。人にはホコリやごみが付いていることが多いので、クリーン服を着なくてはならないのです。
部屋の出入り口にはエアーシャワーがあります。ゴミなどによる不良を防ぐためには、徹底して管理することが大事なのです。

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2022/4/21 更新